等離子清洗機如何保養方法方式
發布時間：2022-04-01 15:54:09
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等離子清洗機保養
1、檢查電源連接
電壓是否與設備匹配
（設備的電壓為220V）。
2、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性
定期檢查真空系統的完整性，這種檢查應該在徹底的清洗反應室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。
定期檢查反應腔體門密封條是不是松動。
檢查各管路是否連接緊固，老化等問題。
3、清洗反應腔室
首先脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃）真空腔體。
其次腔體導入（氬氣+氧氣）或（氮氣+氧氣），用等離子體清除腔體內殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。
4、定期檢查真空泵油
每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時，則添加到油紅標線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當油出現渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪 音異常，則及時更換真空油。
