等離子清洗設(shè)備的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

材料表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。

在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣化物（例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)）。處!理氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。無(wú)需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(lái)

塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟乙烯（PTFE）等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán)，增強(qiáng)表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì)損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。