目前隨著高新技術產業的迅速發展，其應用范圍日益廣泛，目前已在眾多高新技術領域中，占據了關鍵技術的地位。plasma等離子清洗機技術對工業經濟和人類文明的影響挺大的，率先推動了電子信息行業，特別是半導體和光電行業的發展。由于等離子清洗機在越來越多的行業中得到了越來越多的應用，如何選擇合適的等離子清洗機就成了人們關心的問題，今天我們來談談如何選擇plasma真空等離子清洗機。

在plasma真空等離子清洗機的選擇上，我們主要從以下幾個方面考慮。

先由腔體尺寸確定等離子清洗機的型號，腔體尺寸主要從以下兩方面考慮。

1、生產量大小：

對于產能要求較高的產品，一定要根據產能選擇空腔尺寸，空腔尺寸越大，一次加工的產品越多，如果產能要求不高，則優先考慮工件尺寸。當工件可以放下時，我們可以根據其生產能力計算出合適的空腔尺寸。

我們要考慮的第二個問題，是選擇什么頻率的等離子清洗機。

頻率選擇：

現在通常使用的頻率有40.5KHz和13.46MHz，20Mhz。40.5kHz的自偏壓為1050V左右，13.46MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發頻率的機制不同，40.5kHz發生的反應為物理反應，13.46MHz發生的反應既有物理反應又有化學反應，20MHz有物理反應但更主要的反應為化學反應。

空腔材質選擇：

現在常用的腔材料有以下幾種：石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔，這三種腔各有優點，石英腔溫度較低，而且不容易發生反應。鋁型材的優點：1、鋁型材密度低，強度高，優于鋼，具有較好的機械加工性能。鋁具有良好的導電、導熱和抗腐蝕性能。材料對化學反應的兼容性較好，不易產生金屬污染，不會產生污染等。

真空泵選擇：

到底是選用國產的，還是進口的，是干泵還是油泵，是單級泵，還是雙極泵，每種真空泵的選擇都可以根據客戶的實際需要而定，在此不再贅述。

氣路選擇：

一般真空等離子清洗機都是兩路氣路，但這不能滿足所有的處理要求，如果需要更多的反應氣，則氣道要適當增加，這也是根據用戶的實際需要，選擇多路氣路。

2、產品物件尺寸：

一般而言，真空等離子清洗機的分類主要是根據空腔尺寸和空腔材料來劃分的，選擇空腔尺寸時首先要考慮的是工件尺寸，也就是說，至少要能夠將工件放下去，如果工件連放都放不下去，再考慮其他因素也沒有多大意義。