目前隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，其應(yīng)用范圍日益廣泛，目前已在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域中，占據(jù)了關(guān)鍵技術(shù)的地位。plasma等離子清洗機(jī)技術(shù)對(duì)工業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明的影響挺大的，率先推動(dòng)了電子信息行業(yè)，特別是半導(dǎo)體和光電行業(yè)的發(fā)展。由于等離子清洗機(jī)在越來(lái)越多的行業(yè)中得到了越來(lái)越多的應(yīng)用，如何選擇合適的等離子清洗機(jī)就成了人們關(guān)心的問(wèn)題，今天我們來(lái)談?wù)勅绾芜x擇plasma真空等離子清洗機(jī)。

在plasma真空等離子清洗機(jī)的選擇上，我們主要從以下幾個(gè)方面考慮。

先由腔體尺寸確定等離子清洗機(jī)的型號(hào)，腔體尺寸主要從以下兩方面考慮。

1、生產(chǎn)量大小：

對(duì)于產(chǎn)能要求較高的產(chǎn)品，一定要根據(jù)產(chǎn)能選擇空腔尺寸，空腔尺寸越大，一次加工的產(chǎn)品越多，如果產(chǎn)能要求不高，則優(yōu)先考慮工件尺寸。當(dāng)工件可以放下時(shí)，我們可以根據(jù)其生產(chǎn)能力計(jì)算出合適的空腔尺寸。

我們要考慮的第二個(gè)問(wèn)題，是選擇什么頻率的等離子清洗機(jī)。

頻率選擇：

現(xiàn)在通常使用的頻率有40.5KHz和13.46MHz，20Mhz。40.5kHz的自偏壓為1050V左右，13.46MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，40.5kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.46MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

空腔材質(zhì)選擇：

現(xiàn)在常用的腔材料有以下幾種：石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔，這三種腔各有優(yōu)點(diǎn)，石英腔溫度較低，而且不容易發(fā)生反應(yīng)。鋁型材的優(yōu)點(diǎn)：1、鋁型材密度低，強(qiáng)度高，優(yōu)于鋼，具有較好的機(jī)械加工性能。鋁具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和抗腐蝕性能。材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性較好，不易產(chǎn)生金屬污染，不會(huì)產(chǎn)生污染等。

真空泵選擇：

到底是選用國(guó)產(chǎn)的，還是進(jìn)口的，是干泵還是油泵，是單級(jí)泵，還是雙極泵，每種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶的實(shí)際需要而定，在此不再贅述。

氣路選擇：

一般真空等離子清洗機(jī)都是兩路氣路，但這不能滿足所有的處理要求，如果需要更多的反應(yīng)氣，則氣道要適當(dāng)增加，這也是根據(jù)用戶的實(shí)際需要，選擇多路氣路。

2、產(chǎn)品物件尺寸：

一般而言，真空等離子清洗機(jī)的分類主要是根據(jù)空腔尺寸和空腔材料來(lái)劃分的，選擇空腔尺寸時(shí)首先要考慮的是工件尺寸，也就是說(shuō)，至少要能夠?qū)⒐ぜ畔氯ィ绻ぜB放都放不下去，再考慮其他因素也沒(méi)有多大意義。