型號 | JL-VM60 | |||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調 | 0-3000W可調 | ||
選 配 | ||||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） | |
腔體內部尺寸(MM) | 400*400*400（寬高深) | |||
腔體容積 | 60L | |||
極板 | 5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動可調節 | |||
可放最大產品尺寸 | 320mm*280mm | |||
密封性 | 軍工級焊接密封 | |||
泵 | 泵組 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H | ||
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | |||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | |||
質量流量計 | ＜±1% FS 質量流量控制（MFC）系統 | |||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調 | |||
真空度基礎壓力設定范圍 | 10Pa-50Pa | |||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | |||
控制系統 | 1、PLC 自動控制； | |||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | ||||
3、配方程序為 0~99； | ||||
4、多級權限操作； | ||||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息； | ||||
6、存儲工藝數據及錯誤信息； | ||||
7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯； | ||||
8、保護功能：工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、控制面板處設急停按鈕等 | ||||
9、免靜電清洗等多種清洗模式 | ||||
10、圖形化界面檢測處理參數； | ||||
11、自動、手動操作可切換； | ||||
12、維護提示緊急停止按鈕； | ||||
13、門感應器和真空互鎖； | ||||
14、顯示功能：工藝參數顯示；運行時間顯示；工藝過程實時監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、 射頻電源質量流量等；故障報警，提示項目 | ||||
15、機器運行信號指示； | ||||
16、機器運行結束提示； | ||||
17、設備無WIFI，無藍牙，無讀卡器等相關裝置 | ||||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 900*1750*900(寬高深） | ||
重 量 | 320KG | |||
設施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定 | ||
整機功率 | 2KW | |||
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa | |||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單. | |||
