小型高頻等離子表面處理設備
發布時間：2022-04-01 16:26:57
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小型高頻等離子表面處理設備
操作性·功能
1 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機型，發生器自動匹配，無需調節反射波，進一步增加的操作的便捷性。
2 標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
3 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
安全性·保護
1 裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈，可實時監測和了解機器的運轉狀態。
2 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
產品優勢
1 等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
2 對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
3 等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
4 高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
5 特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗
