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技術知識

真空等離子體清洗機(plasma)構成及其原理

發布時間:2022-04-01 15:26:50 瀏覽數:847

金徠具體給您詳解 。首先等離子體是一種含有自由電子、離子和自由基的被電離氣體。等離子體與外加電磁場存在相互作用,這種作用會影響其內部的自洽電磁場中的帶電離子,使等離子體的流體特性得到提高,從而產生諸如流動性、波動性、不穩定性以及自組織性等集體效應。等離子體中的每種粒子都有相對獨立的能量狀態分布,每種粒子所維持的能量狀態分布并非在等離子體中是保持等值平衡的。等離子體內部能量是由熱能、電場能、磁場能和輻射場所構成的,這些能彼此相互影響和轉換,使得等離子體能在一個更寬廣范圍的、多維參數相互關聯的空間里存在。

任何材料一旦接觸到等離子體,就會發生一系列的物理、化學變化,甚至會出現熔化。等離子體制造技術在實現對材料加工制造的同時,又能實現對材料本身的改性,提高材料的附加價值。

真空離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分夠成,可以根據客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統,真空室。容易采用數控技術,自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。

真空離子清洗機(plasma)是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質,等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置。廣泛應用于表面去油及清洗等離子刻蝕,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序,因此又應用于汽車電子領域、軍工電子領域、PCB制成行業等高精密度領域。

真空離子清洗機真空兩個電極形成電磁場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長,受磁場作用,發生碰撞而形成等離子體,同時會發生輝光,等離子體在電磁場內空間運動,并轟擊被處理物體表面,達到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有機物,以及其它化學物質,從而達到表面處理、清洗和刻蝕效果,經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。

工作過程:

真空等離子清洗機plasma)包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內,真空泵開始抽氣至一定的真空度,電源啟動便產生等離子體,然后氣體通入到反應腔室,使腔室中的等離子體變成反應等離子體,這些等離子體與樣品表面發生反應,生產可揮發的副產物,并由真空泵抽出。

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