| 整機機架規格 | |
外形尺寸 | 786×1895×813mm（寬×高×深） |
整機重量 | 650KG |
真空腔參數 | |
真空腔內部尺寸 | 180*230*1430MM (寬深高) |
真空腔容積 | 60L |
真空腔材料 | 316不銹鋼 |
極板層數 | 可放兩排產品 |
極限真空 | 5-100Pa |
真空腔門 | 航空鋁 |
真空泵 | 油泵 |
技術參數 | |
一次最大產能 | 5根*2=10根 |
等離子功率 | 50~2000W可調 |
工藝氣體 | 3路，其中一路可用氨氣 |
氣體流量 | 0~500SCCM/min |
清洗時間 | 1~99999秒可調 |
控制方式 | PLC+觸控屏 |
輸入電源 | AC380V，50/60Hz 16A |
冷卻方式 | 風冷 |
上料夾具 | 2套 |
檢測功能 | 氣壓檢測、門檢測 |
保護防護 | 過溫防護、過載防護、短路、斷路、各種誤操作保護 |
