| 型號 | JL-RR14 | ||
| 適用晶圓片尺寸 | 4inch 6inch | ||
| 等離子源系統 | 等離子發生器 | 射頻頻率：13.56MHZ;功率600W可調 | |
| 真空系統 |
真空腔體 | 材質 | 石英玻璃 |
| 腔體內部尺寸 | D220*360（直徑*深度) | ||
| 腔體容積 | 14L | ||
| 泵 | 真空泵 | 愛特 | |
| 皮拉尼式真空計 | 正華 | ||
| 質量流量計 | SEVENSTAR | ||
| 氣路控制 | 標配2路（可定制），氣體流量可調，適用Ar、N?、CF?、O?、H? | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 電控系統 | 人機工控系統 | 自動+手動觸控式全中文界面 | |
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機 | ||
| 開關電源 | 臺灣明偉 | ||
| 變頻控制系統 | 根據實際情況自動調節真空泵抽速，實時確保真空度穩定 | ||
| 軟件程序 | 自主專利設計等離子控制系統，三級權限設置自動、手動模式 配方參數設定、存儲、調用，報警歷史查詢，IO監控 |
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| 報警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實時監控報警 （三色燈蜂鳴器報警+顯示屏提示） |
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| 進氣系統 | 氣體控制系統 | 日本SMC電磁閥 | |
| 氣壓監測系統 | 日本SMC減壓閥、壓力報警表 | ||
| 進氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | ||
| 泄壓系統 | 破真空組件 | 擋板閥+節流閥+消音器 | |
| 整機參數 | 外形尺寸（MM) | 640*750*1700mm（寬*深*高） | |
| 重量 | 200kg | ||
| 額定總功率 | 1.5KW | ||
