型 號 | JL-E30 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~500W 可調 | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 石英、航空鋁（選配） |
腔體內部尺寸(MM) | 400*200*400 | ||
腔體容積 | 30L | ||
極板 | 1層 | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 薄膜硅 | ||
氣體流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調 | ||
極限真空 | 3Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | |
工藝氣體 | Ar、N?O?、H?等等（可選） | ||
控制系統 | 1、PLC 自動控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數據及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結束提示； | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840 (寬高深） | |
重 量 | 280KG | ||
設施配置 | 電 力 | 五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單。 | ||
