外觀參數(shù) | |
主機尺寸 | 1860mm長 X 1470mm寬 X 2000mm高 |
重量 | 250Kg |
安裝面積 | 3500mm X 5500mm(含開門上下板位置) |
電極 | |
電極分布 | 垂直分布，每片電極獨立冷卻 |
托盤數(shù)量 | 16片 |
RF 電源系統(tǒng) | |
功率 | 10KW |
頻率 | 40KHZ |
工藝氣體控制系統(tǒng) | |
標準配置4路氣體 | 一路2000sccms,三路5000sccms |
軟件控制系統(tǒng) | |
智能人機界面+PLC | |
真空泵系統(tǒng) | |
真空泵組 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可選） |
真空工作力 | 進氣氧氣流量2.5-3.0L/min狀態(tài)下，工作壓力可控范圍180-300mTorr |
生產(chǎn)能力 | |
生產(chǎn)板最大尺寸 | 25X44 inch （21*24 inch 30塊/爐） |
標準生產(chǎn)板厚度 | 0.1-9mm(0.5以下薄板需定制軟板夾具） |
生產(chǎn)板最小尺寸 | 4 X 4inch |
