型 號 | JL-RR12 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~1000W可調(diào) | ||
選 配 | |||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） |
腔體內(nèi)部尺寸 | 360*800*650（寬*高*深(MM)) | ||
腔體容積 | 135L | ||
處理最大尺寸 | 12英寸 | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配） | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
極限真空 | 5Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | ||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權(quán)限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數(shù)； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應(yīng)器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結(jié)束提示； | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840(寬高深） | |
重 量 | 280KG | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單. | ||
質(zhì)保、售后服 務(wù)和技術(shù)支持 | 質(zhì) 保 | 一年免費的維保和備件免費更換 | |
技術(shù)支持 | 接到設(shè)備故障通知1個小時內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對遠(yuǎn)程無法定位解決的問題，提供現(xiàn)場維修服務(wù) | ||
培 訓(xùn) | 設(shè)備正式試用前，提供完整、免費的技術(shù)培訓(xùn) | ||
