型 號 | JL-RR8 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~300W可調 | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 石 英 |
腔體內部尺寸 | Φ250 * Dept.260（直徑*深mm) | ||
腔體容積 | 12 L | ||
處理最大尺寸 | 8英寸 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | ||
質量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 4路處理氣體氣路，氣體流量可調 | ||
極限真空 | 5Pa | ||
流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | ||
工藝氣體 | Ar、CF4、N?、O?等等（可選） | ||
控制系統 | 1、PLC 自動控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數據及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結束提示； | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 750*450*500(寬高深） | |
重 量 | 55KG | ||
設施配置 | 電 力 | 單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。 | |
壓縮空氣 | 無 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單. | ||
質保、售后服 務和技術支持 | 質 保 | 一年免費的維保和備件免費更換 | |
技術支持 | 接到設備故障通知1個小時內提供遠程技術支持，對遠程無法定位解決的問題，提供現場維修服務 | ||
培 訓 | 設備正式試用前，提供完整、免費的技術培訓 | ||
