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等離子去膠機

等離子去膠機 10L


1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、316不銹鋼材質,耐腐蝕,環保不產生金屬污染。

5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。



產品詳情



  

JL-VMS10

等離子源系統

  

13.65MHz  射頻

  

500W (連續可調,精度為1W)

真空系統

真空腔體

材質

石英

腔體內部尺寸

D250*250mm(直徑*深度)

腔體容積

10 L

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

油泵/干泵

處理溫度

60°C

流量計

0-500ml/min

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調

真空度

10Pa --100Pa

工藝氣體

Ar、N?、CF?、O?、H?等(可選)

外觀參數

外形尺寸

720*530*450mm(寬*深*高)

     

55kg

設施配置

     

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。


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