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等離子去膠機

等離子去膠機 100L


1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、316不銹鋼材質,耐腐蝕,環保不產生金屬污染。

5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。



產品詳情



 

JL-VM100

等離子源系統

 

13.56MHz 射頻

 

1000W可調

真空系統

真空腔體

材質

航空鋁

腔體內部尺寸

500*400*500mm(寬*深*高)

托盤有效尺寸

420*280mm

物料托盤層數

8層托盤、可拆卸式,層間距30mm

腔體容積

100L

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

油泵/干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1*105~1*10-1Pa

質量流量計

±1% FS

氣路控制

標配2路(可定制)

真空度

5Pa-30pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

外觀參數

外形尺寸

1000*900*1750mm(寬*深*高)

 

550kg

設施配置

 

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定


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